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真空腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面可升溫到350℃。該腔體設計有進氣口和抽真空接口和2-4芯信號真空電極，做多可選用6芯電極。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，需自行將引入腔體的信號線連接到測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電子信號。

國產手動高溫真空探針臺 晶圓檢測 氣敏測試，可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）

小型真空探針臺 太陽能電池測試夾具，可預留接口以備安裝電子閥及流量計之用，充入其它氣體使用，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度）

常溫半導體測試 氣敏測試 大氣探針臺是一種用于半導體器件電性能測試的重要設備，通常由精密的機械結構、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導體芯片、集成電路和其他微電子器件進行直接的電性能測試，從而為研究和生產提供有價值的信息。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號，實現更加精確的數據測試測量。

大氣探針臺 電信號測試是一種用于半導體器件電性能測試的重要設備，通常由精密的機械結構、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導體芯片、集成電路和其他微電子器件進行直接的電性能測試，從而為研究和生產提供有價值的信息。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環節，負責晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩定的信號，實現更加精確的數據測試測量。